2021年7月15日木曜日

Considering SLA 3D printer

 The smell of resin had a nostalgic smell, close to the smell of semiconductor resist! I was surprised that I didn't feel so uncomfortable.

It's basically an old contact aligner glue! Some words such as Canon Co-Built Aligner came to my mind. The contact aligner draws a pattern on a silicon wafer that has been spun resist with a contact mask.

SLA 3D printers use UV light to make contact masks by LCD. This dynamically creates a mask pattern on the LCD, cures the UV curable resist, shifts the Z axis, and forms on the Z axis.

This idea is very interesting, especially if you make a mask pattern on LCD, that is, if you replace the semiconductor mask reticle with LCD, it will be possible to digitize the reticle! In this case, the concept of mask disappears from the aligner. The printing pattern can be changed dynamically while exposing.

LCD projectors are magnifying exposure systems, but steppers are reduced exposure systems (although recent steppers are not very clear), and LCD reticle also eliminates the concept of reticle. The UV resistance of the LCD will be a big problem.


By the way, I would like to use this SLA 3D printer 3D printer. This is fun to set conditions.

レジンの匂いはなんか懐かしい臭がしました、半導体のレジストの匂いに近い! なんかそんなに違和感を感じないのには驚きでした。
基本的に大昔のコンタクトアライナーのノリですね!キャノン・コビルトアライナーなんかの言葉が浮かんできました。 コンタクトアライナーは、コンタクトマスクでレジストをスピンしたシリコンウエハーにパターンを描いていく。
光造形プリンターは、紫外線でコンタクトマスクこれはLCDでマスクパターンを動的に作り、紫外線硬化レジストを硬化してZ軸をシフトさせて、Z軸上に造形していきます。

この考え方は、非常に興味深く特にLCDでマスクパターンを作る、つまり、半導体のマスク・レチクルをLCDで置き換えるとレチクル電子化が可能かな!こうなるとマスクと言う概念がアライナーからなくなる露光しながら動的に焼付パターンを変えられる。

LCDプロジェクターは、拡大露光系ですが、ステッパーは縮小露光系(最近のステッパーはあまり良くわかりませんが)、LCDレチクルで同じくレチクルという概念が消える。 LCDの紫外線耐性が大きな問題となるでしょうね

さて、この光造形3Dプリンターを使い込んでいきたいと思います。これは条件出しの楽しみがあります。 

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