IH 誘導加熱 半導体 拡散装置

半導体の熱処理にIHを　（高周波誘導加熱を）

ウエハーの口径が大きくなると拡散は、赤外線等で行われているは、
これこそIHが最適と考えられる。
これは、IHコンロを見てみれば、誰もが理解できる。
構造的には、

• HIコイル　温度センサー
• 石英板（コンロでは、強化ガラスでしたが）
• それを包むチャンバー
• 拡散ソース

この構造は、比較的、高圧拡散　真空拡散　常圧拡散　いかような拡散にも適用可能

この構造の根拠は、半導体の精製に関して、ゾーンメルティング法で生成をおこなっている。
という事は、シリコン・その他もIHで加熱可能という事になる。