2015年3月28日土曜日

半導体の露光技術はまだモノクロの世界

何ナノになろうとモノクロは、変わらない!
露光技術は、写真技術の転用である。
なら!カラーは・・・・・といわずマルチレベル露光技術が何で存在しない!
マルチ・・・・・多層レジストウエハーRGB・・・・ではないかもそれを一括に露光する。
さて」、悩むところ、現像も有り無しの世界。
その中間がない。その中間をアナログと考えれば、なにか得られるものはないか!
液浸技術は、液でレンズ、ターゲット(ウエハー)間を満たし露光をおこなうが、単純に考えてレジストの表面の状態が重要!
ここで、レジスト・インプラである。これで種々の問題は解決できる!


Monochrome, does not change to become what nano meter!
Exposure technology is a diversion of photographic technology.

That is! Color is not present in many multi-level exposure technique is not said .....!
I might not multi ..... multilayer resist wafer (RGB film core) ···· to expose it to the bulk.
Well ", suffer place, world without there also developing.
The middle is not. Given an intermediate analog, or nothing something obtained!
Immersion techniques, liquid lens, the target (wafer), but the exposure is filled between, simply state of the surface of the resist is important to think!
Here, it is resist implantation. This variety of problems can be solved!

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